Бренд: AmatОписание: карта полупроводниковой платыСостояние: совершенно новыйСертификат: Письмо отчета о тестировании COOГарантия: 1 годИнвентарь Qty: 9Платеж: T/T.Справочный порт: ШэньчжэньВ качестве полупроводниковой платы AMAT 0100-77040 обеспечивает точность позиционирования пластин во время высокоскоростной переноса и обеспечивает надежность вакуумного уплотнения с помощью динамической регулировки давления воздуха в замкнутом контуре и отклика сигнала на миллисекунд.
| Производство |
Очень |
| Номер модели |
0100-77040 |
| Страна происхождения |
США |
| HS -код |
85389000 |
| Измерение |
12*12*2 см |
| Упаковочный размер |
14*14*4 см |
| Масса |
0,5 кг |
Технические параметры
Входное напряжение: 100–240 В переменного тока
Интерфейс связи: Ethernet, RS-485 (
Диапазон рабочей температуры: от -10 до +60 ℃
Уровень защиты: IP20
Время ответа: ≤5 мс
Совместимое пневматическое давление: 0,5–1,0 МПа
Механическая жизнь: ≥1 миллиона циклов
Функциональные особенности
1. Управление приводами пневматического привода
AMAT 0100-77040 использует технологию обратной связи с замкнутым контуром для регулировки обратной степени и закрытия и выпуска давления пневматических клапанов в режиме реального времени, чтобы обеспечить точность на уровне миллиметрового уровня действий приводов, таких как роботизированные вооружения и уплотнения камеры, и снизить риск повреждения пластин.
2. Интеграция многопротокола промышленной коммуникации
0100-77040 поддерживает протоколы Ethernet, RS-485 и Devicenet для достижения бесшовной стыковки с основными системами управления AMAT Centura, Endura и других платформ. AMAT 0100-77040 Он может синхронно передавать данные о состоянии оборудования в центральный модуль мониторинга для улучшения уровня автоматизации всей машины.
3. противоположность и самодиагностика разлома
Встроенная электромагнитная экранирующая цепь и конструкция избыточной схемы могут эффективно противостоять радиочастотным интерференциям (RFI) и колебаниям источника питания; Он имеет функцию обнаружения неисправностей в реальном времени, которая может вызвать звуковые и световые аварийные сигналы и записывать коды ошибок при ненормальном, сокращая цикл обслуживания.
4 модульное быстрое развертывание
AMAT 0100-77040 Применяет стандартизированную структуру установки слота карт, совместимую с головкой пневматической единицей оборудования, такого как AMAT P5000 и Ion Platform Ion Ion Viista, поддерживает замену горячей заты
Сценарии приложения
Система переноса пластины: приведите пневматический захват роботизированного рычага для достижения высокоскоростной переноса пластины между вакуумной камерой и блокировкой нагрузки (например, оборудование PVD/CVD)
Управление уплотнением камеры процесса: отрегулируйте клапан затвора (щелевый клапан), чтобы поддерживать состояние вакуумной изоляции камеры травления/осаждения
