Бренд: AmatОписание: Плата контроллера конечной точки CMPСостояние: совершенно новыйСертификат: Письмо отчета о тестировании COOГарантия: 1 годИнвентарь Qty: 3Платеж: T/T.Справочный порт: ШэньчжэньAMAT 0100-77014-это модуль управления, используемый в оборудовании для производства полупроводников. В основном он используется для обработки сигналов, передачи системы и мониторинга процессов. Он интегрирован в платформу оборудования AMAT для обеспечения стабильности и производительности в реальном времени.
Производство |
Очень |
Номер модели |
0100-77014 |
Страна происхождения |
США |
HS -код |
85389000 |
Измерение |
25*15*3 см |
Упаковочный размер |
27*17*5 см |
Масса |
1 кг |
Технические параметры
Входное напряжение: DC 24 В ± 10%
Потребление мощности: ≤15 Вт
Изоляция выдерживания напряжения: 1500 В переменного тока/1 мин
Интерфейс связи: RS-232/RS-485, Ethernet (10/100 Мбит/с)
Рабочая температура: от 0 ° C до 50 ° C
Поддержка аналогового входа/вывода 4-20 мА
Цифровой ввод -вывод: 8 каналов
Частота выборки: 1 кГц
Точность: ± 0,1% фс
Уровень защиты: IP67
Метод установки: DIN RAIL или панель зафиксирована
Функциональные особенности
1. Мониторинг процессов в реальном времени и обратная связь
AMAT 0100-77014 Мониторирует ключевые параметры, такие как температура, давление, скорость потока и т. Д. В режиме реального времени с помощью высокоскоростного модуля сбора данных, и динамически корректирует параметры процесса в комбинации со встроенными алгоритмами, чтобы обеспечить согласованность обработки пластин.
2. Избыточная связь и высокая достоверность
0100-77014 Поддерживает избыточную связь с двумя ссылками (RS-232 + Ethernet), автоматическое переключение между мастер-и резервными устройствами, обеспечивая нулевую работу простоя AMAT 0100-77014 в 24/7 Непрерывной продукции
3. Совместимость с мультипротоколом и интеграция системы
Совместим с промышленными протоколами, такими как DNET и Modbus TCP, беспрепятственно подключенная к хост -компьютерной системе AMAT Endura, Centura и других платформ, для достижения централизованного управления данными процесса
4. Безопасная защита и связь тревоги
AMAT 0100-77014 имеет встроенную цепь защиты от переизбытков/чрезмерного тока, поддерживает пороговую тревогу (звук и свет/ПЛК
Сценарии приложения
1. Процесс ионной имплантации высокой энергии
Используется для системы контроля дозы Viista 3000xp/900xp-ионный имплантер, калибровка угла луча в реальном времени и однородность дозы
2. Мониторинг осаждения металлов PVD
Следите за температурой целевой распыления и давлением вакуумной камеры на платформе Endura, чтобы оптимизировать скорость осаждения пленки TIN/TI.
3. CVD управление потоком газа
Интегрирован в реакционную камеру Centura 5200, динамически отрегулируйте поток газов процесса, таких как TEOS и SIH₄, чтобы обеспечить консистенцию толщины пленки