Бренд: AmatОписание: модуль интерфейса камерыСостояние: совершенно новыйСертификат: Письмо отчета о тестировании COOГарантия: 1 годИнвентарь Qty: 3Платеж: T/T.Справочный порт: ШэньчжэньAMAT 0100-35054-это модуль интерфейса камеры, который контролирует рабочее состояние оборудования в реальном времени, чтобы гарантировать, что камера процесса плазмы автоматически запускает механизм блокировки безопасности в аномальных условиях.
| Производство |
Очень |
| Номер модели |
0100-35054 |
| Страна происхождения |
США |
| HS -код |
85389000 |
| Измерение |
25*10*2 см |
| Упаковочный размер |
27*12*4 см |
| Масса |
0,8 кг |
Технические параметры
Тип интерфейса: совместим с шиной VME, поддерживает 16-битную параллельную передачу данных.
Операционное напряжение: 24 В постоянного тока ± 5%, максимальная нагрузка тока 2А.
Рабочая температура: от -10 ° C до 70 ° C.
Уровень защиты: IP20.
Время отклика сигнала: ≤5 мс, обеспечивая быстрое запуск блокировки
Функциональные особенности
1. Обеспечение безопасности:
AMAT 0100-35054 интегрирует несколько входных каналов датчиков, которые могут синхронно контролировать давление камеры, параметры потока газа и температуру. Как только чрезмерное значение обнаружено, источник питания сразу отключается, и источник опасности изолирован для обеспечения безопасности оборудования и операторов
2. Оптимизация совместимости всистемой:
0100-35054 совместим с системами управления AMAT Endura, Centura и другими сериями оборудования физического осаждения из пара (PVD) и химического осаждения пара (CVD), поддерживая конфигурацию плагин-и игры без необходимости дополнительных драйверов (CVD).
3. высокая стабильность и противоположность:
AMAT 0100-35054 принимает избыточную конструкцию схемы и электромагнитное экранирующее покрытие, которое может поддерживать нулевую ложную тревогу передачи сигнала в высоковольтной радиочастотной среде (такой как травление ICP), а частота отказов составляет менее 0,01%.
4. Указание и диагностические функции:
Встроенный индикатор состояния светодиода и диагностический интерфейс поддержка удаленного кода неисправности. Персонал технического обслуживания может быстро найти заданные детали через выделенное программное обеспечение AMAT (например, Applied Producer®), чтобы сократить время простоя
Сценарии приложения
Процесс травления в плазме:
При высоком соотношении аспекта травление 3D NAND память в режиме реального времени мониторинг давления камеры проводится для предотвращения разряда дуги, вызванного накоплением побочного продукта
Металлическая пленка осаждение:
Для процессов взаимосвязи меди (например, PVD Endura ALPS) утечки газа обнаруживаются во время распыления, чтобы избежать загрязнения пленки
Процесс очистки камер:
Во время цикла технического обслуживания оборудования CVD автоматическое запуск и остановка очистки плазмы NF₃ запускаются, чтобы гарантировать, что остатки полностью удалены
